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首页 > 国产商业电子束光刻机

国产商业电子束光刻机

2025
08-19

中国刻刀来了!首台国产商业电子束光刻机“羲之”出炉:和EUV光刻机有何区别 NEW

zhiyongz 科学 围观12次 0 条评论
中国刻刀来了!首台国产商业电子束光刻机“羲之”出炉:和EUV光刻机有何区别快科技8月17日消息,据国内媒体报道,近日,全国首台国产商业电子束光刻机在杭州“出炉”,其精度比肩国际主流设备,标志着量子芯片研发从此有了“中国刻刀”。在杭州城西科创大走廊的浙江大学成果转化基地测试现场,一台模样酷似大型钢柜的机器正在做应用测试,电子显示屏上不断闪烁着实时参数。团队负责人表示,这不是普通的机器,而是一支能在头发丝上雕刻出整座城市地图的“纳米神笔”。依托省重点实验室,这台研究院自主研发的新一代100kV电子束光刻机“羲之”已正式投入市场。据了解,“羲之”取名自书... Read More >
国产商业电子束光刻机 EUV光刻机
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